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天津津维电子仪表有限公司
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晶圆贴膜机

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详细说明

    产品特点

体积小, 操作方便,适用于桌面放置以及满足上述规格

的晶圆。

晶圆减薄前贴膜性能:晶圆收益≥99.9%

贴膜质量:没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡)

每小时产能:≥ 80片晶圆

更换产品时间:5min

规格参数

晶圆尺寸(英寸): 4" 、 5" 、 6" 、 8" 、 12"

晶圆厚度: 300 - 750μm

晶圆种类:

晶圆材料:硅,砷化镓或其他

晶圆工艺:单平边,双平边,V型缺口



胶膜种类

胶膜材料:蓝膜或UV膜

胶膜规格:长度--100m;

宽度--120 ~ 240mm;

厚度--0.05 ~ 0.2mm;

贴膜原理: 防静电滚轮贴膜

贴膜动作: 自动拉膜和贴膜

晶圆台盘: 通用(一体式)特氟龙防静电涂层接触式台盘或硅胶台盘或陶瓷台盘

晶圆装载方式:手动放置与取出。

防静电控制: 防静电特氟龙涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子发生器

切割系统

独特的手动可调整环形切刀适用于不同的晶圆外形

刀头带独立加热机构无任何飞边,并省去修边

独特的手动直切刀设计,为省膜的设计;

晶圆定位:通用标线/弹簧销钉

安全防护:配置紧急停机按钮

电源:AC 220V 10

 
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